50nm精度压电平移台 | 超光科技

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50nm精度压电平移台简介

　　50nm精度压电平移台采用压电超声波马达驱动，轴向推16N;采用不锈钢交叉滚柱轴承，具有高精密度、高重复性，高线性度。

50nm精度压电平移台特征

断电自锁，内具刹车功能，无回程间隙；

最小步进距50nm；

光栅尺位置传感器；

超薄紧凑型设计，方便机械集成，铝合金主体，阳极氧化处理。

*产品参数均可提供实测数据

行程(mm):

重复定位精度(μm):

直线度(μm):

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