压电纳米升降台 | 超光科技

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压电纳米升降台简介

　　压电纳米升降台采用锲型结构设计，单/双压电马达驱动;断电自锁，内具刹车功能，无回程间隙。

压电纳米升降台特征

最小步进距离小于20nm；

可选配磁栅或光栅位置反馈；

结构紧凑，可以和其他位移台直接叠堆成模组。

*产品参数均可提供实测数据

行程(mm):

最大负载(kg):

最大速度(mm/sec):

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