压电纳米显微镜平台 | 超光科技

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压电纳米显微镜平台简介

　　压电纳米显微镜平台采用压电马达驱动;断电自锁，内具刹车功能，无回程间隙。

压电纳米显微镜平台特征

最小步进距小于50nm；

可选配磁栅或光栅位置反馈；

超薄紧凑设计，高度仅41mm；

适合用作各种显微镜和测试设备载物台。

*产品参数均可提供实测数据

最大负载(kg):

重复定位精度(μm):

重量(kg):

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